随着航空航天、精密仪器、光学和激光技术的迅速发展,以及人造卫星姿态控制和遥测器件、光刻和硅片加工设备等各种高精度平面、曲面和复杂形状零件的加工需求日益迫切,超精密数控车床加工的应用范围日益扩大。它的特点是可以直接加工出具有纳米级表面光洁度和亚微米级形面精度的表面,借以实现各种优化的、高成像质量的光学系统,并促使光学电子设备的小型化、阵列化和集成化。
超精密加工机床与一般机床相比较的话,差别就是加工精度差别很大,由加工精度引起的差异,导致在普通机床上,设计者们根本不重视不考虑热变形、力变形、振动、定位及材料等因素,而在超精密机床上却恰恰相反,这些无一不影响着超精密机床加工出来的产品的精度。
除此之外,机械加工产品的质量从加工精度上可以分为普通加工,精密加工,高精密加工和超精密加工四种。普通加工的精度在10~100um,精密加工精度在3~10um,高精密加工精度在0.1~3um,而精度要求高于0.1um的属于超精密加工的精度。由此可见,超精密机床在这方面可谓远远甩掉一般机床几条街。不过,有国内的机床制造水平仍存在较大的提升空间,